線寬線距量測機
- 針對超細線寬線距開發的全自動線寬線距量測機
- 透過特殊打光方式，可自動化量測 上底寬與下底寬
- 可先自動化量測漲縮
- 可當做超高精度的數位二次元
- 可自動量饋線
| 線寬線距 | 可達 20 / 20 um |
|---|---|
| 台面測量範圍 | 標準款 600 x 700 ( mm ) |
| 超高解析度 |
|
上底
下底
上底
下底
饋線
單畫面一次可偵測雙線量出線寬