產品介紹

X-RAY 四軸檢查機

  • 有 X、Y、W、θ,共四軸移動,可傾斜量測
  • 採用 200 萬畫素數位取像模組
  • 單畫面量測:可掃描 0.5 mm ~ 5 mm 圓直徑
  • 測量精度:在有效測量範圍的任何位置 ± 10 um
  • 高張數套疊的情況下依然不拖影 使用上更方便 移到哪看到哪 不用等
  • 壞點自動補償機制 系統會自動偵測壞點並修補 避免壞點影像判識結果
  • 極佳的影像處理能力 在厚板低對比的情況下,依然能精確的量測靶標的尺寸與中心位置
  • 雙環 / 多層環 全自動層偏量測 可全自動精確的量測層偏量 已進行製程的修正
  • 即時影像畸變校正 可充分即時消除影像的變形量,在 LIVE 模式下也能看到清晰不變形的影像

機器規格

基板檢查尺寸 200 x 200 ( mm )
解析度 8 um
影像視野 15 x 9.4 ( mm )
基板檢查厚度 6 mm 以下
X 線管輸出 管電壓 50 KV、管電流 1 mA
( 實際規格依客戶需求為準 )

量測功能 ( 單畫面尺寸量測 )

  • 1. 點 - 點的距離
  • 2. 圓的自動化尺寸量測

圖片說明

全自動化多層 ( 24 層 ) 同心圓層偏計算

層偏檢查

在如此不清晰的影像情況下,軟體也能抓到圓,進行分析